4탐침 면저항측정
반도체Wafer, LCD, Solarcell, Touch panel 등 전도성박막의 면저항을 측정
면저항(Sheet resistance)
면저항은 보통 단위 ohm/sq로 표시됩니다.
일반적인 선저항은 두개의 probe로 임의의 거리에 대한 저항을 측정하지만,
면저항의 경우에는 동일한 간격의 4개탐침으로 측정하게 됩니다.
이때 쓰이는 Probe가 4-point probe입니다.
보통 탐침은 1mm간격으로 일렬로 구성된 probe를 사용하며,
4개의 탐침으로 전류와 전압을 이용하여 V/I=ohm(저항값)을 구한 후,
면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용해 줍니다.
통상 Wafer, LCD, 태양전지, OLED, 신소재박막의 생산과정에서 박막의 전도성을 검사하기
위하여 쓰입니다.
절연막/대전방지재료 등 고저항의 표면저항측정기는 4-point probe가 아닌
rail type probe나 circle type의 2 point를 사용하는 것이 일반적이며,
(주)에이아이티에서는 취급하고 있지 않습니다.
4-point probe / JANDEL
4-point probe는 4개의 탐침으로 구성되며. 면저항측정용으로 사용하는 probe를 일컫는 말입니다.
보통은 1mm간격 일렬(Linear type)로 탐침을 정렬시킨 것을 이용합니다.
이외에 탐침을 정방형으로 나열시킨 Squre type의 Hall probe와 고온까지 견딜 수 있도록
특수제작된 고온용Probe가 있습니다.
현재 면저항측정기를 생산하고 있는 국내외의 대표적인 회사들 상당수가 JANDEL社의
Probe Head를 채용하고 있는데, 타사 제품에 비해서 고가이지만,
내구성과 안정성을 인정받고 있습니다.
(주)에이아이티는 국내 총판으로 1993년부터 Probe 제조社로부터 Probe를 직접 공급받아 장착한
면저항측정기를 제작, 판매, 수출하고 있습니다.
(주)에이아이티 www.fpp.co.kr